・特徴：フッ素系洗浄剤により、浸透力が高く、狭ギャップの洗浄に最適。溶剤系の特徴を生かし、少ない工程数で洗浄可能。それにより廃棄物を大幅に削減。また、障害となる溶剤の蒸発量を極限まで削減する仕様にした製品

・用途：フラックス洗浄(パワーデバイス、フリップチップ)

※半導体・電子基板製造工程向けの洗浄装置

・製品一例：『コピードラム洗浄機』、『電子基板用自動5槽式超音波洗浄装置』