産業機械事業
準水系洗浄剤&5工程スプレー洗浄
用途 |
電気・半導体・電子材料 |
洗浄方法 |
スプレー・シャワー洗浄 |
・特徴:スプレー方式は連続式、枚葉式に対応。また洗浄力が大きいため、狭ギャップの洗浄に適した製品
・用途:フラックス洗浄・酸化膜除去(パワーデバイス)/フラックス洗浄(フリップチップ)
※半導体・電子基板製造工程向けの洗浄装置
・製品一例:『チップトレイ洗浄機』、『インデックス式スプレー洗浄機』
洗浄工程
①洗浄剤洗浄(準水系洗浄剤、スプレー)-②液切(エアブロー)-③プレリンス・仕上リンス(純水、スプレー)-④仕上リンス(純水、揺動)-⑤熱風乾燥
追加オプション例
ネットコンベア式 |
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水分濃度管理計、フラックス濃度管理計 |
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プロセスデータ管理 |
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使用洗浄剤例
準水系洗浄剤 | パインアルファシリーズ(荒川化学工業)/クリーンスルーシリーズ(花王) |
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水溶性洗浄剤 | VIGONシリーズ(ゼストロン) |
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